Для цитирования:

Кузьменко А.П., Кашкин И.С., Колпаков А.И., Сапрыкин И.С. Размерные особенности и механизмы роста магнетронных наноплёнок нитрида тантала при высокочастотном реактивном формировании. Известия Юго-Западного государственного университета. Серия: Техника и технологии. 2025;15(4):65-81. https://doi.org/10.21869/2223-1528-2025-15-4-65-81

For citation:

Kuzmenko A.P., Kashkin I.S., Kolpakov A.I., Saprykin I.S. Dimensional features and mechanisms of growth of magnetron nanofilms of Tantalum nitride during high-frequency reactive formation. Proceedings of the Southwest State University. Series: Engineering and Technology. 2025;15(4):65-81. (In Russ.) https://doi.org/10.21869/2223-1528-2025-15-4-65-81