Для цитирования:

Кузьменко А.П., Кашкин И.С., Колпаков А.И., Жакин А.И., Емельянов В.М. Структурные и морфологические особенности магнетронных наноплёнок TaN с разной толщиной. Известия Юго-Западного государственного университета. Серия: Техника и технологии. 2024;14(3):147-164. https://doi.org/10.21869/2223-1528-2024-14-3-147-164

For citation:

Kuzmenko A.P., Kashkin I.S., Kolpakov A.I., Zhakin A.I., Yemelyanov V.M. Structural and morphological features of magnetron nanofilms of TaN with different thicknesses. Proceedings of the Southwest State University. Series: Engineering and Technology. 2024;14(3):147-164. (In Russ.) https://doi.org/10.21869/2223-1528-2024-14-3-147-164