Для цитирования:

Кузьменко А.П., Колпаков А.И., Сизов А.С., Емельянов В.М., Неручев Ю.А. Магнетронные углеродные структуры, полученные высокочастотным магнетронным распылением в среде аргона и азота. Известия Юго-Западного государственного университета. Серия: Техника и технологии. 2024;14(2):71-87. https://doi.org/10.21869/2223-1528-2024-14-2-71-87

For citation:

Kuzmenko A.P., Kolpakov A.I., Sizov A.S., Emelyanov V.M., Neruchev Yu.A. Magnetron carbon structures obtained by high-frequency magnetron sputtering in Argon and Nitrogen. Proceedings of the Southwest State University. Series: Engineering and Technology. 2024;14(2):71-87. (In Russ.) https://doi.org/10.21869/2223-1528-2024-14-2-71-87